Вакуумный ввод линейного перемещения
Вакуумный ввод линейного перемещения
Артикул:
МВТУ.303359.001
Страна происхождения:
Россия
Производитель:
ООО "Электровакуумные технологии"
Вакуумный ввод линейного перемещения с сильфонным уплотнением предназначен для передачи линейного движения объем высоковакуумного оборудования. Ввод устанавливается на фланец CF40.
- Максимальный вылет штока от присоединительного фланца — 200 мм;
- Вид штока — комбинированный цилиндрический облегченный;
- Внешний диаметр штока — 22 +- 0,1% мм;
- Тип перемещения штока — линейное вдоль оси симметрии;
- Точность позиционирования штока по оси перемещения — не хуже 10 мкм;
- Вращение штока относительно оси — не допустимо.
- Изгиб края штока (провисание) в любом положении при максимальной величине хода — не более 200 мкм;
- Максимальная поперечная и продольная нагрузка на шток — не менее 1 кг.
- Присоединение к штоку — M5x1 (по согласованию с заказщиком);
- Шток съемный, крепится к фланцу корпуса;
- Присоединительный фланец штока — DN40CF;
- Тип уплотнения (корпуса) — тарельчатый сильфон;
- Тип привода — интегрированный шаговый двигатель (шаговый серводвигатель) с замкнутым циклом;
- Тип редуктора шагового двигателя — планетарный;
- Наличие энкодера высокоточного, разрешением не менее 1000 Имп. /оборот;
- Разрядность энкодера — не менее 10 бит;
- Точность отслеживания величины перемещения энкодером — не мене 5 мкм;
- Присоединительный фланец корпуса — DN40CF;
- Тип уплотнительных прокладок — высокочистая медь;
- Наличие съемных оптических концевых выключателей на минимальное и максимальное положение штока (оптопара) с защитным противопылевым экраном;
- Управление вводом должно осуществляться с панели оператора.
- Совместимость с панелью оператора МВТУ.446622.001 (или аналог);
- Рабочее давление — 10e-8 не более торр;
- Рабочее положение — под любым углом;
- Материал корпуса — алюминиевый сплав;
- Материал сильфона — AISI 316 или AISI 304 (или аналог);
- Материал штока — AISI 316 (или аналог);
- Максимальная температура термического обезгаживания — не менее 200 °C;
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм 250+-10мм х 70+-5мм х 450+-30мм;
- Наличие защитных пластиковых крышек на всех фланцах;
- Наличие болтов монтажных количеством, советующим количеству отверстий и их диаметру на изделии с полным набором гаек и шайб;
- Материал крепежных элементов — AISI 316 (или аналог), длина крепежных элементов согласовывается с Заказчиком;
- Ввод должен поставляться в переносном противоударном транспортном кейсе с ручкой;
- Масса ввода — 10 кг.
- Гарантия, мес: 24
- Гарантия, мес: 24
Информация, представленная на сайте, может незначительно отличаться от конструкторской документации, действующей на момент оформления заказа. После оформления заказа наши сотрудники обязательно свяжутся с вами для представления точной технической информации и согласования параметров изделия.
По вашему запросу в конструкцию могут быть внесены изменения.