С шаговыми двигателями

Моторизованный ввод вращения на нестандартном фланце Ду60 предназначен для передачи вращательного движения в объем вакуумной или герметичной камеры.Может быть укомплектован шаговым двигателем, редуктором и фотодатчиком, позволяющим контролировать количество совершенных оборотов вала.

Вакуумный ввод устанавливается на фланец Ду44. Фланец ввода вращения совместим по присоединительным размерам с фланцами установки ионной имплантации «Везувий». Может быть укомплектован шаговым двигателем, редуктором и контроллером, позволяющим плавно регулировать частоту вращения двигателя с помощью потенциометра.

Моторизованный ввод вращения в вакуум с манжетным (эластомерным) уплотнением на фланце KF40 предназначен для передачи вращательного движения в объем вакуумной или герметичной камеры.