1. Опыт работ
  2. Установка нанесения тонких плёнок методом пароструйного осаждения

Установка нанесения тонких плёнок методом пароструйного осаждения

Установка предназначена для реализации метода пароструйного осаждения покрытий на керамические подложки, изготовленные из нитрида алюминия, размером 48х60 мм.

Основными узлами установки являются: два шлюза (загрузки и выгрузки изделий), которые через вакуумные затворы присоединены к технологической камере. Камера собрана из стандартных крестов - шестериков ISO250. Вся конструкция камеры закреплена на раме.

Внутри камеры вдоль её оси проходит конвейер, осуществляющий транспортировку и сканирование подложек, возможна установка механизма качания подложек.

На верхнем фланце камеры установлек источник материала.

На один из боковых фланцев устанавливается вакуумное окно для визуального контроля за процессом нанесения покрытий. Второй боковой фланец является резервным.

Установка рассчитана на использование трёх источников материала, что позволяет получать многослойные покрытия в едином вакуумном цикле.

Технические характеристики:

рабочее давление: 10-3 мбар

количество обрабатываемых пластин: 20

количество позиций обработки: 3

габариты: 3300х1800х1800 мм