Регулирующие вакуумные заслонки
Вакуумные регулирующие заслонки используются для ограничения скорости откачки объема вакуумной камеры за счет изменения проводимости вакуумпровода.
Регулирующие заслонки применяются для снижения нагрузки на откачную систему и регулирования давления в вакуумной камере при поддержании требуемой концентрации рабочего газа.
Описание конструкции
Герметичность конструкции обеспечивается за счет использования в приводе заслонки ввода вращения в вакуум.
Возможно несколько вариантов реализации управления положением заслонки:
- ручное управление с установкой процента открытия по лимбу рукоятки ввода вращения;
- установка требуемого положения с помощью привода на основе шагового двигателя через программу на компьютере или контроллере;
- автоматическое управление положением заслонки по обратной связи, поступающей от датчика давления, установленного в вакуумной камере. В этом случае клапан может использоваться для автоматического поддержания заданного давления в вакуумной камере.
Корпус регулирующего клапана изготавливается из алюминия или нержавеющей стали.
Возможно исполнение на стандартных фланцах типа ISO-KF и ISO-F или с фланцами, выполненными по эсикизам заказчика.
Типовые характеристики
- Тип фланца: ISO-F, ISO-K, CF
- Типоразмер фланца: 63, 100, 160
- Тип уплотнения привода диска заслонки: манжетное
- Материал корпуса: нержавеющая сталь или алюминий
- Охлаждение корпуса: Нет
- Охлаждение фланца: Нет
- Предельный вакуум: 10e-5 Па
- Поток натекания, не более: 10e-12 м.куб * Па / с
- Тип привода: Шаговый двигатель или ручной привод
- Система управления при комплектации шаговым двигателем: полуавтоматическая или автоматическая с обратной связью по сигналу датчика давления
- Гарантия: 12 месяцев
